Novascan紫外臭氧清洗儀 PSD-UV系列
PSD系列產(chǎn)品是數(shù)字控制的臺(tái)式清洗設(shè)備,可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。設(shè)備配備一個(gè)帶反射罩的高強(qiáng)度UV格柵燈盤, 和可調(diào)節(jié)高度的樣品臺(tái),用于優(yōu)化樣品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系統(tǒng)具有進(jìn)出氣接口。該系統(tǒng)由一個(gè)方便的預(yù)設(shè)置控制器控制,非常容易操作。
•預(yù)設(shè)置的數(shù)字控制器•方便簡(jiǎn)單的兩按鍵操作 •自動(dòng)工作:15.30.60.120分鐘
•工作進(jìn)程可以在任何時(shí)候手工終止
•系統(tǒng)不能提供加熱盤選項(xiàng)
•經(jīng)濟(jì)實(shí)用的設(shè)計(jì)使得PSD系列成為受歡迎的選擇
•容易安裝和使用
Novascan紫外臭氧清洗儀 PSD Pro系列
PSDP 系列產(chǎn)品是研究級(jí)的紫外臭氧清洗系統(tǒng),具有良好的靈活性,能滿足有機(jī)分子去除和其他眾多的應(yīng)用??梢灾苯釉诳諝庵胁僮鳎蚴峭ㄟ^其中一個(gè)進(jìn)氣口通入氧氣來增加臭氧產(chǎn)生??删幊虜?shù)字控制器可以控制系統(tǒng)進(jìn)程,來確保精確時(shí)間和優(yōu)化清洗參數(shù)。
•可編程數(shù)字控制器•數(shù)字顯示倒計(jì)時(shí)•輕松升級(jí)到熱盤選項(xiàng)•可執(zhí)行暫停和終止指令•內(nèi)部存儲(chǔ)器用于記錄之前的參數(shù)設(shè)置—— 一個(gè)強(qiáng)大的系統(tǒng),提供了增強(qiáng)的進(jìn)程控制!
PSDP-UVT Pro系列
PSDP-UVT Pro系列帶有PID控制的樣品加熱階段,可以應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、光學(xué)和科研領(lǐng)域。水銀蒸汽燈產(chǎn)生紫外線和臭氧,能夠自動(dòng)清潔硅、氮化硅、玻璃、金屬、陶瓷和其他材料。PSDP-UVT系列產(chǎn)品同樣可以用來UV治療、UV圖形化、塑造AFM探針形狀以及臭氧刻蝕。
PSDP-UVT Pro系列產(chǎn)品附帶的加熱板可以加速很多應(yīng)用的清潔過程。
產(chǎn)品特點(diǎn):
•數(shù)字控制加熱階段到150攝氏度
•PSDP-UVT能移除有機(jī)污染物
•紫外燈等產(chǎn)生的紫外光波長(zhǎng)范圍為185nm到254nm
•產(chǎn)生臭氧和分子激發(fā)
•在周圍空氣或氧氣常壓下操作
•多種氣體端口用來進(jìn)氣
一般特性:
電 源:100.120.220.240VAC.50-60周期。樣品高度:所有系統(tǒng)都配置可調(diào)節(jié)高度的樣品臺(tái),調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距,并帶位置鎖定,標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)尺寸為UV格柵燈大小或更大。UV格柵燈:產(chǎn)生臭氧的低壓汞格柵燈,帶反射罩。燈管壽命大約為5000小時(shí)。UV反射罩:UV反射罩一般比UV格柵燈大一英寸。比如4×4英寸燈管反射罩尺寸是5×5英寸。樣品放置:打開清洗腔上蓋,露出樣品臺(tái),允許360度裝入樣品。安全裝置:當(dāng)清洗腔打開時(shí),系統(tǒng)安全鎖會(huì)關(guān)掉UV燈。進(jìn)出氣口:標(biāo)準(zhǔn)配置2個(gè)氣接口,可選更多。(PSD-UV3為選項(xiàng))真空反應(yīng)腔:選項(xiàng)客戶化定制,鋁或石英材料。臭氧中和器:中和器和泵用于臭氧排除。(PSD和PSDP選項(xiàng))
PSD系列產(chǎn)品通過產(chǎn)生185nm和254nm高強(qiáng)度UV光分解有機(jī)分子(污染物)。185nm的光可以將氧分子O2轉(zhuǎn)變成活性的O3臭氧分子。254nm的光同時(shí)激發(fā)表面的有機(jī)分子,使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時(shí)間短并且同時(shí)也被254nm光分解,樣品臺(tái)可以調(diào)節(jié)樣品到燈管的距離來優(yōu)化性能。PSD和PSDP分解有機(jī)污染物,然后形成CO2和H2O蒸氣,同時(shí)也將臭氧分子轉(zhuǎn)變成氧分子。
產(chǎn)品型號(hào)尺寸:
產(chǎn)品應(yīng)用:
基體材料:硅、砷化鎵、玻璃、石英、云母、藍(lán)寶石、金屬、陶瓷、聚合物、光阻
應(yīng)用范圍:
•AFM探針清洗/尖削
•半導(dǎo)體表面氧化和準(zhǔn)備
•光學(xué)鏡片清洗
•改善表面潤(rùn)濕性能
•提高油漆/涂料/膠水/粘合劑的附著力
•石英和陶瓷表面清洗
•薄膜沉積的準(zhǔn)備
•紫外固化
•表面圖形化
•臭氧腐蝕