德國SURFACE超高真空脈沖激光鍍膜系統(tǒng)

        德國SURFACE公司自1993年起就從事脈沖激光沉積鍍膜系統(tǒng)（PLD）的研發(fā)和制造工作，在這期間SURFACE公司不但向市場提供了標準的PLD系統(tǒng)，而且也提供專門為客戶訂制的PLD系統(tǒng)。經(jīng)過了這么多年的發(fā)展，SURFACE公司開發(fā)出許多能夠滿足客戶需求的產(chǎn)品和技術(shù)。

1、SURFACE基底運載系統(tǒng)

對機械來說，熱均勻和熱隔離的有效性是十分重要的。這其中，精確的熱電偶是關(guān)鍵的質(zhì)量因素。SURFACE常規(guī)電阻1英寸基底運載器、嵌入式Omicron原子力基底夾、熱電偶直接嵌入基底運載系統(tǒng)，30mm的基底中間區(qū)域、基底和銀醬一起安裝在激光切邊運載器上。運載系統(tǒng)可轉(zhuǎn)換并直接嵌入熱電偶這保證大多數(shù)的溫度測量。

2、靶切換系統(tǒng)

超高真空技術(shù)需要反應釜通過一個負載鎖的腔體進行相互作用。從一開始，SURFACE就意識到這一點，并設(shè)計了一個靶轉(zhuǎn)盤來實現(xiàn)這一需求。多層蓋板避免了強熱的基底轉(zhuǎn)移到靶材。所有靶材是受保護，以防止交叉污染。蓋板能夠非常容易地被更換，無需工具。靶材將通過磁場操縱或位于*轉(zhuǎn)移腔的內(nèi)部轉(zhuǎn)移操縱手被轉(zhuǎn)移。該耦合和靶材的精確檢索是自動完成的。靶轉(zhuǎn)盤和切換動力保證了均質(zhì)燒蝕過程。

3、模塊化的系統(tǒng)概念

SURFACE公司多年來一直從事于研發(fā)超高真空材料科學系統(tǒng)。在大多數(shù)情況下，一個系統(tǒng)的工作負載起始于一個單一的過程控制，往往過了一段時間以后，客戶的需求會增多。為了通過附加的過程控制提升整套設(shè)備的功能，SURFACE公司認識到需要用完整的模塊化概念來解決這個問題。從向市場提供單一的腔體加上負載鎖，一直到提供更多的擴展，而不需要冒任何將來轉(zhuǎn)換而產(chǎn)生的風險。